반도체·디스플레이 온실가스 계수 114건 개발, IPCC DB 등재
에너지데일리 · · EnergyNews 요약
한국환경산업기술원은 국내 반도체·디스플레이 생산현장에 특화된 온실가스 배출계수 80건과 감축계수 34건 등 총 114건을 개발했다고 16일 밝혔다. 기후에너지환경부의 '신기후체제대응 환경기술개발사업' 지원으로 한국화학융합시험연구원이 주관하고 세종대학교 산학협력단, ㈜에코에이블, 주식회사 이엘 등이 참여했다.
연구진은 2022년부터 공정가스의 분해·소모 비율, 부생가스 발생 비율, 저감시설 통과 후 제거 비율 등을 측정해 계수를 도출했다. 배출계수에는 식각공정용 불소계 가스 CF4, C4F6, C4F8의 공정파괴율과 부생가스 발생비율 등이, 감축계수에는 연소식·플라스마식 스크러버의 가스 종류별 저감효율이 반영됐다.
개발된 계수 114건은 지난 7월 IPCC 배출계수 데이터베이스(EFDB)에 국내 최초로 등재됐으며, 이 계수를 적용한 배출량 산정값은 기존 국제 기본계수 방식보다 약 26% 낮게 나타났다.
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