
환경산업기술원, 반도체·디스플레이 온실가스 계수 114건 IPCC DB 등록
한국환경산업기술원은 기후에너지환경부의 '신기후체제대응 환경기술개발사업'을 통해 반도체·디스플레이 분야 온실가스 배출계수 80건과 감축계수 34건 등 총 114건을 개발했다고 10월 16일 밝혔다. 연구는 한국화학융합시험연구원이 주관하고 세종대학교 산학협력단, 에코에이블, 이엘 등이 참여했으며, 2022년부터 국내 생산현장에서 공정가스 분해·소모 비율, 부생가스 발생 비율, 저감시설 제거 비율 등을 직접 측정했다. 배출계수에는 반도체 식각공정에 쓰이는 불소계가스(CF4·C4F6·C4F8)의 공정파괴율과 부생가스 발생비율이, 감축계수에는 연소식·플라스마식 스크러버의 가스 종류 및 운전조건별 저감효율이 반영됐다. 개발된 114건은 지난 7월 IPCC 배출계수 데이터베이스(EFDB)에 국내 최초로 등재됐다. 공정가스 종류와 소비량 등 조건을 동일하게 가정해 비교한 결과, 개발 계수를 적용한 배출량 산정값은 IPCC 국제 기본계수 적용 시보다 약 26% 낮게 나타났다.
10월 16일