UNIST, 주석계 EUV 포토레지스트 감도·정밀도 조절 기술 개발

전기신문 · 2026년 9월 21일 · EnergyNews 요약

UNIST 에너지화학공학과 장지현 교수팀은 차세대 극자외선(EUV) 노광 소재인 주석계 포토레지스트의 감도와 패턴 정밀도를 조절하는 기술을 개발했다고 9월 21일 밝혔다. 연구팀은 주석 원자를 둘러싼 리간드 물질을 바꿔 클러스터의 핵수를 조절하는 방식을 적용했다.

전자를 내주는 성질의 아다만탄-1-카르복실산을 리간드로 쓴 소재는 주석 원자 6개가 모인 구조로 감도가 높아 적은 전자빔 노출량으로 설계 선폭 20나노미터 패턴을 형성했다. 전자를 끌어당기는 디페닐포스핀산을 쓴 소재는 주석 원자 3개 구조로 더 많은 전자빔이 필요했으나, 폭 50나노미터 선에서 선 가장자리 거칠기가 1.02나노미터로 측정됐다.

장지현 교수는 주석 함량뿐 아니라 리간드의 성질이 감도와 패턴 정밀도를 좌우한다는 점을 밝혔다며, 공정 요구에 맞는 차세대 EUV 포토레지스트 개발의 설계 기준으로 활용될 것이라고 설명했다.

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효율·산업 탈탄소에너지신문·9월 30일

[논단] AI·에너지 전환의 기반으로서 첨단 합금과 디지털 주조

기고문은 AI·데이터센터·양자컴퓨팅 등 디지털 기술의 확산이 이를 물리적으로 구현하는 주조·합금공학의 중요성을 함께 키우고 있다고 설명한다. 최근 기술 흐름으로 AI와 계산재료과학을 결합한 고엔트로피합금(HEA) 등 신합금 설계, 차체 구조물을 초대형 고압 다이캐스팅으로 일체 성형하는 기가캐스팅, 디지털 트윈과 3D 프린팅을 결합한 하이브리드 주조 세 가지를 제시했다. 에너지 분야에서는 가스터빈 운전 온도 상승에 따른 산화·크리프·열피로 문제를 니켈계 초내열합금과 정밀주조·방향성 응고·단결정 주조로 대응해 왔고, 태양광 봉지재·전극, 페로브스카이트 태양전지의 수분·열·자외선 안정성, 풍력 블레이드 복합재, 해상풍력 내식 강재와 대형 주조품 품질이 성능과 수명을 좌우한다고 설명했다. 수소 분야는 수소취성 대응을 위한 고강도 스테인리스강·티타늄·니켈계 합금과 표면처리, ESS·전기차 분야는 알루미늄 다이캐스팅 하우징과 난연성 열전도 소재가 과제로 지목됐다. 필자는 국내 주조 산업이 인력난, 환경 규제, 3D 업종 인식 문제를 겪고 있다며 AI 기반 신소재 설계, 주조 공정 디지털 전환, 핵심 부품 공급망 강화, 인력양성 체계 유지를 과제로 꼽았다.

재생에너지·수소·전력망 설비의 성능과 수명이 소재·부품 기술에 의존한다는 점을 정리한 기고문으로, 에너지 전환 논의에서 상대적으로 덜 다뤄지는 공급망 하단의 제조 기반을 짚고 있다.

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직매립 금지로 수도권매립지관리공사 반입수수료 수입 감소 전망

국회예산정책처가 발간한 '2026 공공기관 현황과 이슈'는 건설폐기물 직매립 금지와 생활폐기물 반입량 감소로 수도권매립지관리공사의 반입수수료 수입이 줄어 재무 상황이 악화될 것으로 전망했다. 2017년 기준 건설폐기물은 전체 반입량의 52.4%, 반입수수료의 56.3%를 차지했으나 2022년부터 직반입이 중단됐고, 2026년부터는 수도권 가연성 생활폐기물의 직매립이 금지됐다. 공사는 50MW 규모 매립가스 발전시설을 운영해 2024년까지 누적 505만MWh를 생산하고 전력판매 수입 5776억원을 올렸으며, 2025년에는 17만6854MWh를 발전해 2001년 가동 이후 누적 5278GWh를 기록했다. 같은 해 음식물폐수 처리로 바이오가스 2197만㎥를 생산했고, 하수슬러지 21만501톤을 처리해 복토재 2만7269톤과 고형연료 3만8131톤을 만들었다. 기후에너지환경부 감사에서는 설비 이상으로 50MW 발전시설의 출력이 14~27MW 수준까지 낮아져 발전수익 감소와 온실가스 배출 증가가 발생했다는 지적이 나왔다.

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서울 강남에서 로보택시를 운영 중인 SWM.ai가 실도로 운행 경험을 'M.AX 얼라이언스'의 자율주행 실증 및 데이터 협력에 활용한다고 30일 밝혔다. SWM.ai는 서울 역삼동 현대모비스 본사에서 열린 '미래차 생태계 구축 협력 행사'에 참석해 '로보택시 실증 및 데이터 생태계 구축을 위한 업무협약'을 체결했다. 이번 협약은 무인 로보택시 상용화를 위한 M.AX 얼라이언스 활동의 일환으로 추진됐다. 참여 기업과 기관은 무인 자율주행 기술 고도화와 안전성 검증에 필요한 실도로 학습데이터 생태계 구축을 추진한다.

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아반티움, 바이오 플라스틱 원료 FDCA 상업생산 개시

네덜란드 화학기업 아반티움(Avantium)이 지난 28일 바이오 기반 플라스틱 PEF의 핵심 원료인 푸란디카복실산(FDCA)의 상업 생산에 성공했다고 밝혔다. 아반티움은 올해 말부터 구매계약을 체결한 고객사에 FDCA와 이를 원료로 만든 PEF를 공급할 계획이다. FDCA는 식물성 당을 원료로 생산하는 화학물질로, 모노에틸렌글리콜(MEG)과 결합하면 폴리에틸렌 푸라노에이트(PEF)를 만들 수 있다. PEF는 음료병과 식품·화장품 포장재, 섬유, 산업용 소재 등에 사용될 수 있어 석유 기반 PET를 대체할 수 있는 소재로 제시됐다.

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지역난방공사, 한남재정비촉진지구 지역난방 공급 업무협약

한국지역난방공사는 9월 29일 서울 용산구청 및 한남 2·3·4·5 재정비촉진구역 주택재개발정비사업조합과 '한남 재정비촉진지구 지역난방 공급을 위한 업무협약'을 체결했다. 체결식에는 하동근 지역난방공사 사장, 김경대 용산구청장과 윤주필(2구역)·조창원(3구역)·민병진(4구역)·신상철(5구역) 조합장이 참석했다. 협약은 민·관·공이 함께 한남지구에 지역난방 공급 체계를 마련하기 위한 것이다.

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남동발전·수자원공사, 가축분뇨 고체연료화 MOU 체결

한국남동발전과 한국수자원공사가 29일 대전 수자원공사 본사에서 '가축분뇨 고체연료 활성화 공동 추진 업무협약(MOU)'을 체결했다고 30일 밝혔다. 협약은 영주댐 상류 유역에서 발생한 잉여 가축분뇨를 고체연료로 자원화하는 시범사업을 통해 수질 오염원 유입을 차단하고 발전용 연료로 활용하는 자원순환 체계 구축을 목적으로 한다. 수자원공사가 고체연료 생산·공급 및 품질 분석을 총괄하고, 남동발전은 공급받은 연료를 발전소에 투입해 연소와 활용 확대를 위한 발전설비 운영데이터를 확보한다. 댐 안에서 수거한 목본류 등 부유물을 보조원료로 혼합·성형해 고체연료 발열량을 높이는 방안도 포함됐다. 양사는 연내 가축분뇨 고체연료를 활용한 에너지 생산을 추진하고 실증 결과를 토대로 추가 협력사업을 발굴할 계획이다.

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한국EMS협회는 29일 BEMS 구축 전문기업을 대상으로 'BEMS 설치확인 제도 개선을 위한 산업체 간담회'를 개최했다고 밝혔다. 협회는 2026년 건물에너지관리시스템(BEMS) 설치확인 심사기관으로서 설치확인 보고서 작성 가이드를 안내하고 현장 애로사항과 개선 의견을 수렴했다. 간담회에서는 설치확인 보고서 작성 기준 명확화, 현장 적용성을 고려한 설치확인 항목 개선, 건축물 및 설비 특성을 고려한 평가기준 보완, 구축기업의 업무 효율성 향상, 설치확인 이후 BEMS 운영 및 성과관리와의 연계 방안 등이 논의됐다. 참석자들은 설치확인 제도가 시스템 구축 여부 확인에서 나아가 운영성과확인과 연계되는 방향으로 검토될 필요가 있다는 의견을 제시했다. 협회는 수렴된 의견을 바탕으로 관련 기관과 협의해 제도 개선 방향을 검토할 계획이라고 밝혔다.

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