#PHMR

기계연, 500㎛급 초소형 3축 자기센서 개발

한국기계연구원 AI로봇연구소 바이오기계연구실 오선종 책임연구원 연구팀은 초상자성 나노입자를 잉크젯 프린팅 방식으로 평면 홀 자기저항(PHMR) 소자 위에 인쇄해 x·y·z 세 방향 자기장을 동시에 측정하는 초소형 3축 자기 센서를 개발했다. 센서 위에 초상자성 나노입자로 이루어진 플럭스 가이드를 도입해 수직 자기장을 평면 방향으로 유도했으며, 외부 자기장이 사라지면 자성도 소멸하는 특성으로 별도 리셋 회로 없이 반복 측정 안정성을 확보했다고 밝혔다. 나노입자 경화 과정에서 외부 자기장을 가해 수직 방향으로 정렬시켜 z축 자기장 감도를 기존 대비 약 3배 높이고 자기장 변환 효율을 최대 40%까지 높였다. 센서 크기는 500㎛×500㎛이며 4개 감지 소자 동시 구동 시 소비전력은 16mW 수준이다. 연구는 DGIST 김철기 교수 연구팀과 공동으로 수행되고 과기정통부 국가과학기술연구회 글로벌 TOP 전략연구단 지원사업 등의 지원을 받았으며, 결과는 'Advanced Functional Materials' 2026년 6월호 표지 논문으로 게재됐다.

10월 6일