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환경산업기술원, 반도체·디스플레이 온실가스 계수 114건 개발
한국환경산업기술원은 기후에너지환경부 '신기후체제대응 환경기술개발사업' 지원으로 국내 반도체·디스플레이 생산현장 특성을 반영한 배출계수 80건과 감축계수 34건 등 총 114건의 온실가스 계수를 개발했다고 16일 밝혔다. 연구는 한국화학융합시험연구원이 주관하고 세종대학교 산학협력단, ㈜에코에이블, 주식회사 이엘 등이 참여했으며 2022년부터 공정가스 분해·소모 비율, 부생가스 발생 비율, 저감시설 제거 비율 등을 측정했다. 감축계수 34건은 연소식 및 플라스마식 스크러버의 가스 종류와 운전조건별 저감효율을, 배출계수 80건은 식각공정 불소계가스(CF4, C4F6, C4F8)의 공정파괴율과 부생가스 발생비율을 반영했다. 114건의 계수는 지난 7월 IPCC 배출계수 데이터베이스(EFDB)에 국내 최초로 등재됐다. 공정가스 종류·소비량 등 조건이 동일할 때 개발 계수를 적용한 배출량 산정값은 기존 IPCC 2006 지침의 국제 기본계수 적용 대비 약 26% 낮게 나타났다.
10월 16일